铜基薄膜太阳能电池窗口层ZnO膜的制备及性能研究

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【获取途径】超星期刊网
【作者】文斌，董金龙，刘超前，柴卫平
【刊名】山西大学学报(自然科学版)
【作者单位】太原师范学院化学系；大连交通大学材料科学与工程学院；山西大学分子科学研究所
【年份】2018
【卷号】第41卷
【期号】第4期
【页码】787-793
【ISSN】0253-2395
【关键词】ZnO薄膜磁控溅射基底温度氧氩比
【摘要】文章基于脉冲直流磁控溅射技术,在普通钠钙玻璃上沉积ZnO薄膜,主要研究了沉积过程中基底温度和O2/（O2+Ar）流量比对ZnO薄膜的结构,表面形貌,光电性能的影响。结果表明,所沉积的ZnO薄膜均为六方纤锌矿结构,且沿c轴方向择优生长。此外,所制备的ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率均超过了90%。随着基底温度的升高,ZnO薄膜的颗粒尺寸和RMS粗糙度呈升高趋势,薄膜的载流子浓度没有明显的变化,载流子迁移率则呈增大趋势。随着O2/（O2+Ar）比值的升高,ZnO薄膜的结晶状态没有明显改变,薄膜中载...
【基金】高等学校博士学科点专项科研基金
【文献类型】期刊