磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用

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【作者】郝晋青
【刊名】太原科技
【作者单位】太原师范学院物理系　　山西太原　　（030001）
【年份】2005
【卷号】第3期
【页码】66-67,69
【ISSN】1006-4877
【关键词】磁透镜技术金刚石沉积膜类金刚石沉积膜
【摘要】阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了边界效应,实现高速大面积沉积高纯度金刚石薄膜/类金刚石薄膜的目标.
【文献类型】期刊